半導体部品の製造工程では、フッ化水素酸が使用される事が多く、その際に設備の周囲にフッ化水素酸が気化してフッ化水素ガスが発生し、作業者の安全に悪影響を及ぼす可能性が考えられます。
ATI社製フッ化水素ガス検知器は、電気化学式の測定原理で、低価格で測定範囲が広く、特に安全確認用で多数の納入実績があります。
また、最大200ppmのガス濃度であれば、発生源のガス濃度確認が可能です。
校正は日本国内で行います。センサーのみの送付で校正可能です。
【参考情報】
◇作業環境評価基準：2 ppm（労働安全衛生法第65条）
◇施設ごとの排出基準：1.0～20mg/Nm 3（環境省）
